全部作者：史磊 陈俊芳 符斯列 杨春林 赖秀琼 黄孟祥 张洪滨第1作者单位：华南师范大学物理与电信工程学院论文摘要：本文提出了1种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的.总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块，提高了信号采集的精度，并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述，并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现，提高了等离子体静电探针参数诊断的效率。得到了放电气压0.25Pa、射频13.56MHz、功率200W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度。关键词：等离子体源；FPGA；静电探针；自动诊断 (浏览全文)发表日期：2008年01月07日同行评议：
（暂时没有）
