全部作者：谢明君 黄大贵 张德银 董政第1作者单位：电子科技大学机械电子工程学院论文摘要：本文利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析，改变敏感元绝热层的厚度，绝热层的`热导率，基底的厚度及衬底材料，并给出不同参数的热分析结果对比。分析结果表明，探测器的响应随绝热层的厚度增加而增加，随绝热层的热导率降低而增加，在硅，镍，蓝宝石3种基底材料中，使用蓝宝石的探测器的响应最大（响应信号最大/响应效果最佳），在有2 绝热层（绝热层厚度为2 ）的情况下，基底的厚度对探测器的响应的影响很小，可以忽略不计，对探测器的设计具有指导意义。关键词：ANSYS LiTaO3 热释电 薄膜 热分析 (浏览全文)发表日期：2008年03月24日同行评议：
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